金刚石薄膜相关论文
目前受控热核聚变能被认为是能够有效解决人类未来能源需求的清洁新能源,燃烧等离子体、托卡马克聚变堆工程技术、聚变堆各类材料......
近些年来涂层刀具的发展受到了广泛关注,并且在商业中已经得到了广泛应用。因为金刚石的优点甚多,如金刚石具有高硬度、摩擦系数低......
采用微波等离子体气相沉积(MPCVD)在商用3 mm×3 mm×1 mm高温高压合成(HPHT)Ib型(100) 金刚石衬底上同质外延生长B掺杂金刚石薄膜......
本文报道热丝化学气相沉积法(HFCVD)生长金刚石薄膜的喇曼散射结果.选取多种峰型,对金刚石薄膜喇曼谱(1100～1800 cm-1)采用最小二乘......
采用微波等离子体化学汽相淀积法，以C60膜为过渡层，在光滑的单晶Si衬底(100)表面和研磨的石英衬底表面等光学衬底上，首次在无衬底负偏......
发射光谱(OES)是对等离子体过程进行检测和诊断最常用的方法，利用等离子体发射光谱，在甲烷/H2/Ar 和丙酮/H2/Ar 两种碳源体系下，对热......
声表面波(SAW)器件由于具有小型化、高可靠、多功能、一致性好等特点，所以它在雷达、电子战、声纳、无线通信、光纤通信及广播电视......
核心提示：完善的营销和售后服务体系很重要，但最核心的还是产品与技术。 随着新材料技术的发展，薄膜材料广泛应用于微电子行业、光......
以在半透明金膜上生长的微晶金刚石薄膜作为空穴传导层，得到了以8－羟基喹啉铝（Alq3）为发光材料的有机薄膜电致发光。对器件的电流－电压......
研究了两种器件结构(共平面和三明治)对金刚石薄膜辐射探测器性能的影响。研究表明,共平面结构器件在 241Am 5．5MeVα粒子辐照下的......
设计了一种Si基金刚石薄膜上的SAW RF MEMS滤波器,其中心频率为400MHz,叉指换能器(IDT)线宽为5μm。采用中物超硬材料公司定制的硅......
采用光纤脉冲激光器对化学气相沉积金刚石薄膜进行了锥形微孔阵列加工,研究了激光扫描速度、扫描次数和脉冲宽度等参数对微孔形状......
金刚石薄膜具有诸多优异性能。研究发现氢修饰金刚石薄膜呈现p型导电性。这使得金刚石薄膜在微电子、电化学器件方面具有良好的应......
金刚石薄膜具有诸多优异性能,如高硬度,低摩擦系数,高耐磨性和良好的化学惰性,被广泛应用于航空航天,耐磨涂层,微纳机电系统(MEMS/......
金刚石薄膜除了具有与天然金刚石相同的晶体结构，也具有高硬度、高耐磨、宽的禁带宽度、宽的光波透过性、耐腐蚀等特性。工具领域、......
化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,CVD)金刚石薄膜具有良好的力学和化学性能,常被涂覆在机械密封环端面,以提升其密封性能......
利用激光技术在硬质合金刀具上分别制备椭圆织构和沟槽织构.同时,利用热丝化学气相沉积法(HFCVD)在刀具上分别制备硼掺杂无织构金......
由于激光能够提供多变且独特的能量源,因此在精确控制材料生长与成形方面有独到优势,并得到了广泛的工业应用。主要介绍了空气中利......
报道金刚石近红外增透滤光保护窗口的研制及其在工业中的应用。采用热灯丝化学气相沉积方法成功地制备出金刚石近红外增透滤光保护......
为了更好地理解磷掺杂金刚石薄膜的成键机理,和磷掺杂浓度对金刚石晶格完整性及电导率的影响,本文通过第一性原理的方法计算了不同......
采用微波等离子体化学气相沉积设备在高掺杂硅衬底上沉积了一层金刚石薄膜,然后采用离子注入法在金刚石薄膜中注入不同剂量的Ce3+,......
目前，在硅、石英等异质基底上利用化学气相沉积方法制备的金刚石薄膜多呈现出以(111)取向为主的多晶结构，晶粒粗大，而且金刚石薄......
利用有限元法分析计算了脉冲激光激发瞬态热栅在金刚石薄膜/ZnSe衬底双层结构中的三维温度场分布及变化。通过比较不同厚度金刚石......
目的 分析硼掺杂织构金刚石薄膜的微观组织结构和表面质量,并探究刀具基体表面不同织构对薄膜结合强度和切削性能的影响.方法 通过......
采用光刻工艺和纳米引晶技术 ,在抛光的单晶 Si衬底上形成带有超细金刚石纳米粉的引晶图案 ,并利用引晶处与抛光 Si处金刚石成核密......
硼掺杂金刚石薄膜具有优异的物理和化学性能,作为新型电极材料,具有传统电极不可比拟的优势。对其进行表面功能化修饰可进一步改善......
提出了一种新颖的多孔硅表面钝化技术 ,即采用微波等离子体辅助的化学气相沉积 (MPCVD)方法在多孔硅上沉积金刚石薄膜。采用原子力......
金刚石薄膜半导体因其优良性能而受到广泛的重视.为了使金刚石薄膜和Au/Ti薄膜形成的半导体器件得到进一步改善,必须对金刚石薄膜......
金刚石薄膜具有一系列优异性能,使其在多种领域得到广泛的应用,但是常规CVD金刚石薄膜晶粒度较大,呈柱状生长,表面较粗糙,同时高硬......
电子辅助化学气相沉积法(Electron-Assisted Chemical Vapor Deposition,简称为EACVD)是制备金刚石膜的重要方法之一,该法具有设备......
在热丝化学气相沉积(Hot Filament Chemical Vapor Deposition,简称HFCVD)金刚石膜的系统中,系统温度场和流场的分布直接决定着金......
在以前的研究中，许多研究者对类金刚石薄膜掺杂金属元素进行了研究，但是对金刚石薄膜掺杂金属的研究很少。目前，掺杂金属元素Ti进入金......
金刚石薄膜优良的力学性能使其在工模具和耐磨器件等领域具有广阔的应用前景。然而,由于硬质合金工具中粘接相钴的催石墨化作用,使......
本文提出一种新型的方法来消除晶界处的非晶碳相和缺陷，从而改善金刚石薄膜的质量。通过在金刚石薄膜沉积过程中掺杂其他元素来构建......
针对金刚石薄膜的诸多特性及其存在的缺陷，提出一种新型的金刚石复合薄膜的制备方法，来改善金刚石薄膜现存的问题，充分发挥金刚石薄膜......
为了制备一种新型的硅掺杂金刚石薄膜，我们采用理论计算结合实验制备的方法对其进行了研究。已经有一些学者对硅掺杂金刚石薄膜进行......
本文通过Langmuir单探针和光发射谱对合成金刚石薄膜的等离子体环境进行了原位诊断；初步探讨了金刚石薄膜生长的动力学过程；并采用辉......
本工作采用辉光等离子体辅助化学气相沉积技术,在本征金刚石薄膜合成的基础上以p型硅为衬底,制备了掺硫n型金刚石薄膜;利用Langmui......
地表水体中汞主要来源于贵金属冶炼、机电制造、氯碱化工、制药等工业企业排放的工业废水。汞是污染性极高的物质,EPA公布饮用水中......
随着现代电子设备信息处理量的扩大,通信载波频段必须向更高频的频率区移动,声表面波器件(SAWD)是现代无限移动通讯系统的关键部件......
声表面波(Surface acoustic wave，SAW)是指声波在弹性体表面的传播，这个波被称为弹性声表面波。由于声表面波的传播速度比电磁波慢十......
金刚石具有优异的力学、热学、光学、电学和声学性能。对金刚石的研究已成为物理和化学界的研究热点。直流等离子喷射化学气相沉积......
采用射频等离子增强化学气相沉积法,调节工艺参数在载玻片和单晶硅片上沉积类金刚石薄膜。采用RM2000型显微激光拉曼光谱仪对沉积......
本文采用非平衡磁控溅射结合无灯丝长条离子源复合沉积技术，在20CrMo、40Cr、YG6以及单晶硅片基体上沉积了掺钨的类金刚石(W-DLC)和......
